西安邮电大学学报

2013, v.18;No.105(06) 59-63

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数模混合式微机械加速度计系统仿真与优化
Simulation and optimization of digital-analog hybrid micromachined accelerometer system

张霞;

摘要(Abstract):

为了提高基于栅结构电容检测式微机械加速度传感器的数模混合式系统的检测精度,在Simulink仿真平台上建立系统仿真模型,用以分析影响系统输出端噪声性能的主要因素。仿真结果表明通过增大载波信号幅度、减小仪表放大电路的增益能够优化数模混合式微机械加速度计系统的噪声性能。实验测试数据显示,当载波信号幅度为14V、仪表放大电路增益为1时,系统噪声等效加速度为3.054μg/Hz(1/2),为优化前的0.256倍。

关键词(KeyWords): 微机械;加速度计;数模混合;噪声;分辨率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 西安邮电大学青年教师科研基金资助项目(101-0477)

作者(Author): 张霞;

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DOI: 10.13682/j.issn.2095-6533.2013.06.004

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